特思迪減薄機有多個型號,各自具有不同的特點,以下介紹兩種典型型號及其特點:
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全自動減薄機TFG-2200/3200:
- 適用范圍:這款設備適用于6/8英寸晶圓研削。
- 設備配置:采用雙主軸三工位設計,搭配高精度主軸,并配置了機械手上下片,實現了高度自動化。
- 功能特點:集成自動對中、傳送定位、清洗干燥功能,實現干進干出的全自動運行。同時,設備具有自動測厚、多段研削、超負載等待等功能,加工精度高。
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其他型號(包括半自動或全自動減薄機):
- 高精度:采用優良的研削技術和精密的控制系統,確保研削過程的高精度和一致性。厚度在線測量重復精度可達±0.001mm,滿足高精度加工需求。
- 全自動化:配備全自動上、下片系統,實現晶圓從取片到加工完成的全自動化流程,大幅提高了生產效率并減少了人工操作的誤差。
- 兼容性好:可磨削各類半導體材料,并適應不同尺寸的晶圓減薄,如2-12英寸晶圓,顯示出良好的兼容性和靈活性。
- 功能全面:除了基本的研削功能外,還具備自動厚度測量、多段研削程序、超負載等待等多種功能,可根據不同工藝需求進行靈活設置和調整。
特思迪減薄機以其高精度、全自動化、良好的兼容性和全面的功能特點,在半導體及精密制造行業中贏得了廣泛的認可和應用。