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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片機
刷洗機
全自動液體蠟貼片機
TLB-360F/485F/576F
該系列設備是全自動液體蠟貼片機，采用機械手全自動上片，配有上下料倉全自動搬運流轉陶瓷盤，自動完成晶圓的DIW清洗、滴蠟、甩蠟、烘烤、貼片工序，自動氣囊壓片，貼蠟效果好，精度高，適用于各種半導體襯底材料拋光前的全自動貼片。
  • 晶圓尺寸

    2-6英寸

  • 陶瓷盤規格

    OD360 mm

  • 清洗工位

    純水+PVA刷

  • 壓片裝置

    氣囊+氣缸二段壓片

    • Features
    產品特點
    功能全面
    氣缸+氣囊二級壓片 貼蠟精度高
    貼蠟工藝
    滴蠟-甩蠟-烘烤-貼片-加壓-冷卻
    全自動系統
    機械手自動傳片 具備晶圓定位功能
    操作簡便
    滴蠟、甩蠟、烘烤、壓片均為自動作業
    兼容性好
    可適配360/485/576mm陶瓷盤 可在程序中切換
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