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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片機
刷洗機
半自動液體蠟貼片機
TLB-360S/485S
該系列設備是半自動液體蠟貼片機，采用手動上片、手動取放搬運陶瓷盤方式，自動完成滴蠟、甩蠟、烘烤、貼片工序，采用氣囊壓片，貼蠟效果好，精度高，適用于各種半導體襯底材料拋光前的貼片。
  • 晶圓尺寸

    2-6英寸

  • 陶瓷盤規格

    OD360 mm

  • 壓片裝置

    氣囊+氣缸二段壓片

    • Features
    產品特點
    功能全面
    氣囊壓片 貼蠟精度高
    貼蠟工藝
    滴蠟-甩蠟-烘烤-貼片-加壓-冷卻
    操作簡便
    滴蠟、甩蠟、烘烤、壓片均為自動作
    配置豐富
    配置冷水機 提升貼蠟效率
    兼容性好
    可適配360/485mm陶瓷盤 可在程序中切換
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