單面拋光機(jī)
TSP-610/810/910/1270/1500 series
該系列拋光機(jī)是以陶瓷盤為載具，通過貼蠟或無蠟吸附方式固定晶圓進(jìn)行拋光的高精密單面拋光設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)雙軸、四軸同時(shí)加工，操作簡(jiǎn)便，兼容性強(qiáng)，穩(wěn)定性高，抗腐蝕好，拋光頭氣缸加壓主動(dòng)旋轉(zhuǎn)，可實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速高壓力拋光，搭配不同拋光墊和拋光液，適用于各種半導(dǎo)體材料的拋光。
拋光盤規(guī)格OD610 mm
陶瓷盤規(guī)格OD240 mm
拋光頭數(shù)量2個(gè)
